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格隆汇5月19日丨中科信息(300678)(300678.SZ)于2023年5月18日接待投资者实现参观、交流,交流环节中,就“公司在“晶圆检测”方面有怎样的布局?发展进程如何?目前是否存在具体的场景应用或产品?”,公司回复称,继连续开拓了锂电池薄膜、汽车玻璃、电子玻璃行业取得良好业绩后,晶圆检测成为公司高速机器视觉与智能分析技术应用的新场景,现在还处于研发阶段。主要是聚焦碳化硅晶圆生产中各个工艺环节的缺陷检测,包含碳化硅原片、腐蚀片、外延片三个工艺场景下的细分检测系统需求。原片碳颗粒、腐蚀片位错将依托公司自主研发的显微成像系统进行设计开发,外延宏观缺陷将依托公司用于电子玻璃微观缺陷的检测技术进行开发,目前均已完成了技术可行性论证,暂未有订单落地。
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